蠕動(dòng)泵 (Peristaltic Pump) 又稱軟管泵(Tubing Pump)或膠管泵(Hose Pump) ，是正位移泵的一種，由于其特有的無(wú)污染、操作簡(jiǎn)便、很少維護(hù)，具有自吸能力，可采用多種泵管材料等優(yōu)點(diǎn)，廣泛應(yīng)用于一些要求標(biāo)準(zhǔn)較高、保持無(wú)菌及防止污染以及一些**關(guān)重要的化工工藝場(chǎng)合，如食品加工、制藥、化工流程、實(shí)驗(yàn)研究、農(nóng)業(yè)及水處理，具體應(yīng)用場(chǎng)合包括：分配、取樣、計(jì)量、過(guò)濾、發(fā)酵等。
 
隨著技術(shù)的不斷提升，蠕動(dòng)泵已開始由實(shí)驗(yàn)室應(yīng)用轉(zhuǎn)為化學(xué)流程控制和生產(chǎn)*域。蠕動(dòng)泵**顯著的優(yōu)點(diǎn)就是將泵管當(dāng)作泵室使用。流體只流經(jīng)泵管而不會(huì)污染泵體，泵體也不會(huì)污染流體。清潔時(shí)只需更換泵管即可。這樣可免去高成本的拆卸時(shí)間和維護(hù)時(shí)間。
 
蠕動(dòng)泵主要由驅(qū)動(dòng)單元、泵頭、泵管和控制單元組成。該設(shè)計(jì)采用電機(jī)來(lái)驅(qū)動(dòng)一組輥?zhàn)愚D(zhuǎn)動(dòng)。輥
 
子相繼碾過(guò)柔軟的泵管，對(duì)其進(jìn)行反復(fù)的壓縮和釋放。這種擠壓作用產(chǎn)生真空，將流體吸入并通過(guò)泵


蠕動(dòng)泵在正常工作時(shí)，通過(guò)操作面板或上位機(jī)控制電機(jī)帶動(dòng)轉(zhuǎn)子轉(zhuǎn)動(dòng)，轉(zhuǎn)子上的輥?zhàn)右来文脒^(guò)泵管，將管擠癟，從而將泵管中的流體擠壓出去。輥?zhàn)幽脒^(guò)后的泵管恢復(fù)原形、形成真空，由此可將后面的流體抽吸進(jìn)來(lái)，在下一輪擠壓過(guò)程將流體排出，完成整個(gè)流體的泵送過(guò)程是由擠壓泵管、形成真空和流體泵送等過(guò)程完成的。
 
2 蠕動(dòng)泵在化學(xué)機(jī)械拋光過(guò)程中應(yīng)用的優(yōu)勢(shì)
 
 
 
化學(xué)機(jī)械拋光是指利用拋光機(jī)、拋光液、拋
 
光布等在一定的工藝條件下實(shí)現(xiàn)材料表面高平坦化的加工過(guò)程，其中拋光液的供給由蠕動(dòng)泵完成，拋光過(guò)程中蠕動(dòng)泵的安裝、工作示意圖如圖 3 所示。

蠕動(dòng)泵特有的泵送液體與泵體嚴(yán)格分離的結(jié)構(gòu)以及泵管和泵頭可隨時(shí)更換的特點(diǎn)，使得在化學(xué)拋光過(guò)程中，蠕動(dòng)泵應(yīng)用的優(yōu)勢(shì)非常明顯：
 
(1) 無(wú)污染 ：在化學(xué)拋光過(guò)程中，蠕動(dòng)泵輸送的拋光液始終在泵管內(nèi)流動(dòng)，不接觸泵體，尤其是不與機(jī)械傳動(dòng)機(jī)構(gòu)接觸，避免了化學(xué)機(jī)械拋光過(guò)程中的金屬污染，同時(shí)也不會(huì)由于拋光液的腐蝕性損壞泵體的機(jī)械元件。
 
(2) 具有自吸能力 ：蠕動(dòng)泵在工作過(guò)程中，可產(chǎn)生足夠的真空吸力將拋光液從夜池中吸到泵管
 
中，從而可免除前期灌泵和吸入管充水過(guò)程。這也免除了淹沒充水的需要，因此不再需要將泵置于液體源液面以下，使泵的安裝位置變得更加靈活，與
 
拋光機(jī)本身更好的融為一體。另外，蠕動(dòng)泵中充水不會(huì)流失，因此可免除無(wú)謂停機(jī)。
 
(3) 操作簡(jiǎn)便 ：蠕動(dòng)泵的操作非常簡(jiǎn)單，開箱取出即可使用。泵頭的安裝只需要用手旋螺釘幾分鐘內(nèi)即可安裝好，泵管的安裝、拆卸、鎖緊可根據(jù)要求隨時(shí)進(jìn)行，不需要任何工具。另外，蠕動(dòng)泵控制簡(jiǎn)單，用撥號(hào)盤或小鍵盤即可進(jìn)行轉(zhuǎn)速控制，通過(guò)直
 
觀易懂的菜單方式來(lái)編程控制較為復(fù)雜的任務(wù)。另外根據(jù)不同的流量要求也可一個(gè)蠕動(dòng)泵同時(shí)連接 2～3 個(gè)泵頭，實(shí)現(xiàn)拋光液的多路供給。
 
3 蠕動(dòng)泵的控制
 
 
隨著半導(dǎo)體器件高密度化、微細(xì)化和多層化的發(fā)展要求，化學(xué)機(jī)械拋光工藝成為必不可少的工藝步驟，為了滿足自動(dòng)化加工的生產(chǎn)需求，拋光液的供給也由 


 接，也有的可以用腳踏開關(guān)來(lái)操控。 外部防護(hù)，防止設(shè)備遭到損毀 -- 許多驅(qū)動(dòng)器都進(jìn)行了密閉防護(hù)，可防灰塵和水進(jìn)入。
 
4.3 泵管的選擇
 
在所有泵頭中，泵管尺寸與流量總是成正比。較大
 
的泵管尺寸及轉(zhuǎn)子直徑會(huì)產(chǎn)生較大的“流體枕”(泵頭中在相鄰輥?zhàn)又g的一段泵中的流體所占空間)。“流
 
體枕”的體積決定特定泵頭每轉(zhuǎn)一圈所泵送的流量。
 
在對(duì)流量精度要求高的場(chǎng)合，必須使用公差較小的泵管，并對(duì)泵進(jìn)行調(diào)校。“公差較小”指的是泵管的內(nèi)徑和璧厚的制造尺寸公差較小。這種泵管可降低通道之間流量的差異程度。對(duì)泵進(jìn)行調(diào)校指對(duì)泵管鎖閉程度進(jìn)行調(diào)節(jié)，可進(jìn)一步降低這種差異程度。
 
所有泵管材料都會(huì)受到擠壓。受擠壓期間，這些泵管的形狀和流量都會(huì)發(fā)生變化。受擠壓時(shí)間長(zhǎng)短、受擠壓后泵管的變化量都會(huì)隨泵管尺寸及材料的不同而不同。在對(duì)流量精度要求高的場(chǎng)合下,可
 
在對(duì)通過(guò)每個(gè)通道的流量進(jìn)行調(diào)校前將裝有新泵管的泵試運(yùn)行幾分鐘。

5 小結(jié)
 
 
通過(guò)以上分析可以看出，用好蠕動(dòng)泵的關(guān)鍵在于選好泵頭、泵管和驅(qū)動(dòng)器。特定的應(yīng)用要求決定了選購(gòu)泵產(chǎn)品時(shí)需考慮的功能。針對(duì)特定的需求，我們可提供不同類型及形狀的泵頭、泵管材質(zhì)及泵管尺寸。不同的組合方式可應(yīng)對(duì)不同的流體輸送要求。隨
 
著蠕動(dòng)泵制造技術(shù)的不斷提升，其使用壽命、化學(xué)相容性、流體壓力、脈動(dòng)等限制其應(yīng)用的制約因素也會(huì)不斷改善，其應(yīng)用場(chǎng)合范圍會(huì)越來(lái)越廣泛。